中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所，是我國(guó)著名的技術(shù)學(xué)科綜合性研究所之一。其前身是成立于1928年的國(guó)立中央研究院工程研究所，新中國(guó)成立后隸屬于中國(guó)科學(xué)院，曾命名為中國(guó)科學(xué)院工學(xué)實(shí)驗(yàn)館、中國(guó)科學(xué)院冶金陶瓷研究所。1958年、1959年本所先后分出組建了長(zhǎng)沙礦冶研究院、昆明貴金屬所、中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所，又先后更名為中國(guó)科學(xué)院冶金研究所、中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所。2001年8月，根據(jù)研究所近年來(lái)科研領(lǐng)域的變遷和科技發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)的調(diào)整，經(jīng)中國(guó)科學(xué)院和國(guó)家有關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)將所名更改為中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所（以下簡(jiǎn)稱(chēng)上海微系統(tǒng)所）。

上海微系統(tǒng)所自新中國(guó)成立以來(lái)已獲得國(guó)家級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)50余項(xiàng)、部委省市級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)330余項(xiàng)。本所于50年代在國(guó)內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵，并成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問(wèn)題；60年代初研制成功用于濃縮鈾235的關(guān)鍵部件“甲種分離膜”，該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人吳自良院士作為“兩彈一星”功臣之一于1999年9月18日受到黨中央、國(guó)務(wù)院和中央軍委的表彰；60年代以后，本所又在國(guó)內(nèi)率先建立了超純金屬和III-V族化合物半導(dǎo)體材料研究基地和發(fā)展了微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門(mén)合作研制出國(guó)內(nèi)第一塊工業(yè)實(shí)用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路、國(guó)內(nèi)第一塊8位、16位微處理器等微電子器件，80年代中期利用微電子技術(shù)基礎(chǔ)開(kāi)展了微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）和SOI材料的研究，90年代末和20世紀(jì)初開(kāi)展了低軌衛(wèi)星通信技術(shù)、無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)和新一代移動(dòng)通信技術(shù)的研究，為國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展、國(guó)家安全和社會(huì)進(jìn)步作出了重大貢獻(xiàn)。

1998年12月，上海微系統(tǒng)所首批進(jìn)入中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程試點(diǎn)序列，經(jīng)對(duì)科技活動(dòng)目標(biāo)進(jìn)一步凝煉，確定將本所建成一個(gè)以集成微系統(tǒng)為核心科技活動(dòng)方向的、基礎(chǔ)技術(shù)力量雄厚的、富有持續(xù)創(chuàng)新活力的、開(kāi)放的、國(guó)內(nèi)一流和國(guó)際知名的研究所。本所以國(guó)家需求為導(dǎo)向，圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大學(xué)科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子工藝技術(shù)平臺(tái)為支持，以“無(wú)線傳感微系統(tǒng)網(wǎng)、微系統(tǒng)技術(shù)平臺(tái)、新一代移動(dòng)通信技術(shù)”幾個(gè)重大項(xiàng)目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料，加強(qiáng)原始創(chuàng)新，加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開(kāi)展低軌通信小衛(wèi)星及星座系統(tǒng)、集成微光機(jī)電系統(tǒng)、無(wú)線信息微系統(tǒng)、半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料與器件、太赫茲物理與器件、納電子材料與器件、SOI材料與器件、新型、高效微能源系統(tǒng)等研究活動(dòng)。目前全所共有6個(gè)研究室：傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室/微系統(tǒng)技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體功能薄膜工程研發(fā)中心/納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室、微系統(tǒng)信息網(wǎng)研發(fā)中心、能源科學(xué)與技術(shù)研究室、寬帶無(wú)線移動(dòng)通信研究室；六個(gè)與地方共建的中心：上海微小衛(wèi)星工程中心、上海無(wú)線通信研究中心、中國(guó)科學(xué)院嘉興無(wú)線傳感網(wǎng)工程中心、中國(guó)科學(xué)院無(wú)錫高新微納傳感網(wǎng)工程技術(shù)研發(fā)中心、中國(guó)科學(xué)院南京寬帶無(wú)線移動(dòng)通信研究中心、中科院杭州射頻識(shí)別技術(shù)研發(fā)中心。上海微系統(tǒng)所擁有硅MEMS加工和封裝、化合物半導(dǎo)體材料MBE生長(zhǎng)和半導(dǎo)體器件研制、微系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)和測(cè)試等技術(shù)平臺(tái)、以及微系統(tǒng)、微結(jié)構(gòu)器件、半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的研究設(shè)備和研究能力。

全所現(xiàn)有在職職工716名，其中科研、管理和支撐技術(shù)人員581名，有中國(guó)科學(xué)院院士2名，中國(guó)工程院院士1名，美國(guó)國(guó)家科學(xué)院外籍院士1名，正副研究員133名。此外，全所有370名在讀研究生和27名博士后。