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圖書簡介

本書內(nèi)容分為六部分：第一部分為半導(dǎo)體物理的基本理論。主要內(nèi)容包括：半導(dǎo)體、晶格、能帶、載流子等基本概念；硅及砷化鎵物理學(xué)特性；P—N結(jié)及其特性。第二部分為半導(dǎo)體器件。主要內(nèi)容包括：雙極型器件；MOS器件；微波與光電子器件。第三部分為半導(dǎo)體工藝。主要內(nèi)容包括晶體生長、薄膜生長、光刻、腐蝕、擴(kuò)散、注入等基本半導(dǎo)體工藝；雙極型集成電路工藝；MOS集成電路工藝。第四部分為集成電路設(shè)計(jì)。主要內(nèi)容包括：設(shè)計(jì)方法；綜合與仿真。第五部分為MEMS。主要內(nèi)容包括：MEMS概念與特點(diǎn)；MEMS工藝、器件與材料等。第六部分為科技文獻(xiàn)范例。主要介紹微電子技術(shù)的現(xiàn)狀與未來發(fā)展。 書中內(nèi)容選材精良，但考慮到篇幅的限制及上下文的連慣性，對(duì)所選內(nèi)容的圖表及文字進(jìn)行了部分刪減和改動(dòng)。為了有利于教學(xué)和閱讀理解，幫助學(xué)生更好地理解原文，每章后面給出了主要專業(yè)詞匯及難句注釋，并在每部分后面列出了有關(guān)參考文獻(xiàn)。
目錄
本書由半導(dǎo)體物理、半導(dǎo)體器件、半導(dǎo)體與集成電路工藝、集成電路設(shè)計(jì)、微電子機(jī)械系統(tǒng)和科技文獻(xiàn)范例六部分組成。全書涵蓋了微電子技術(shù)領(lǐng)域的基本內(nèi)容，同時(shí)又介紹了該領(lǐng)域的一些較新的發(fā)展。
本書可作為電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)微電子技術(shù)方向的三、四年級(jí)本科生的專業(yè)英語教材，也可供相關(guān)專業(yè)的本科生和從事該專業(yè)領(lǐng)域的工程技術(shù)人員使用。

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